Semi-conducteurs

Le profilomètre laser 2D détecte la position de l’encoche du wafer sans aucun risque d’omission même lorsque le wafer est légèrement déformé.

L’écartement des fils de sciage peut varier selon la température et la forme du rouleau principal. Une mesure régulière de l’écartement permet de déterminer facilement quand remplacer les rouleaux.

Réduisez la maintenance réactive en contrôlant l’épaisseur de la lame de découpe à intervalles réguliers. La vérification fréquente permet de détecter toute ébrèchement de la fine lame avant rupture. Installez deux capteurs confocaux face à face pour mesurer avec fiabilité l’épaisseur sur toute la circonférence de la lame sans risque d’endommagement.

Surveillez la position de repos de l’effecteur terminal pour détecter toute variation minime avant qu’elle ne cause une collision entre le wafer et son support. L’emploi d’un capteur de déplacement longue portée permet de mesurer la position de l’effecteur terminal à travers un hublot.

Mesurez le profil du bord d’un wafer. Il suffit à l’utilisateur de sélectionner l’un des outils de contrôle disponibles, tel que Différence de hauteur/Largeur ou Angle, pour lancer facilement la mesure. La capture d’image ultra-haute résolution basée sur 3200 points/profil garantit une mesure de profil d’une précision impossible à atteindre avec les méthodes classiques.

Grâce à sa tête compacte, la Série CL-3000 s’installe directement sur l’équipement, pour une mesure de distance précise. Le capteur mesure facilement toute surface à réflexion diffuse ou miroir sans aucun ajustement de la position d’installation.

Le support de tête réglable et la fonction d’alignement de l’axe optique assurent une mesure d’épaisseur facile et ultra-précise sur toute cible. Mesurez avec stabilité même les wafers à la surface irrégulière.

La réflexion diffuse et d’autres parasites peuvent entraver le contrôle de rainures brillantes avec un instrument de mesure sans contact. La Série LJ-X possède des fonctions exclusives qui suppriment ces phénomènes, pour une mesure de forme parfaitement stable.